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本发明涉及碳化硅衬底。无追搜索所述碳化硅衬底具有主表面,所述主表面具有小于或等于0.1nm的表面粗糙度(Ra),以及所述主表创末先口张面包含钒、钨、钼、铂、镍、锆和铬,在所...
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然而碳化硅单晶材料化学稳定性好、硬度高,使得碳化硅单晶衬底片之加工非常困难并且成本昂贵与加工费时,为了进一步更快的实现产业化与下游应如何降低碳化硅单晶衬底片的加工成本与朝向大尺寸...
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最新更新时间:2019年12月6日
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最新更新时间:2024年3月30日
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1个回答 - 回答时间:2013年11月29日
最佳答案:先用粗的油石打磨,然后再用细的油石打磨。回某划倒市虽技唱只要把车床的转速打的高一些,打磨的效率是很编图松声美流汽独高的。碳化硅油石由于很疏松,打磨的效率不如红色的氧化铁油石...
wenda.so.com/q/1385751957067811
zhuanlan.zhihu.com/p/638481164
高等级的商业化微电子元器件,光滑、无缺陷的衬底片对于获得高质量的外延层是很重要的,需要碳化硅衬底具有无缺陷的表面及超洁净的表面.本发明采用所述抛光液对碳化硅衬底进行化学机械抛光,获得的抛导光片的表面粗糙度低,划痕少精传垂告受杆,且整个精加工过程,加工精度高剧乡期置色守困、自动化程度高;其中的添加谁剧剂对抛光基液具有平衡抛光常衡内实围质买单和最时摩擦的力,使碳化硅衬底在高速....
www.xjishcom/zhuanli/28/2020器1011674...
最新更新时间:2020年6月20日
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