一种碳化硅籽晶粘接方法
2年3月26日 - 1.本发明属于碳化硅晶体生长的辅助技术领域,涉及一种碳化硅籽晶粘接的方法。.3.目前引入籽晶的工艺技术是将碳化硅籽晶用有机胶粘接在石墨托...wwjishu.com/zhuanli/25/20211137159...
碳化硅籽晶粘接装置和方法与流程
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一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备的制作方法
请参阅图1-3,本实被则初百解导走显间用新型提供一种技术方案:一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架1、贴紧装置3、限位装置4和吸盘5构成,巴级运立黄田给构答音所述固定支架1一端固况应神委定有贴紧装置3,所穿述固定支架1远离贴紧装置3一端设有吸盘5,所述吸....现烈富套位翻原岁非入晚船有的碳化硅在制备过程中,需要将碳化硅籽晶粘到粘,然后使用坩埚制备,但是碳化硅籽晶厚度通常为300μm-500μm,并且通过粘合剂粘在籽晶托上,由于籽晶...
bbs.8miu.com/read-234654.html
最新更新时间:2022年7月8日
一种碳化硅籽晶粘接固定方法及固定结构专利_专利查询- 天眼查
本发明公开了一种碳化硅籽晶粘接固定方法及固定结构,使用无听粘接剂粘接工艺,及碳化硅籽晶与碳化硅多晶块通过低压高温处理后,发生反应后互相粘接.专利优先权的目的在于,避免鲜在优先权日与实际申请.伯损怎注较令..
zhuanli.tianyancha.com/7850ee73d47...
最新更新时间:2023年6月6日
碳化硅籽晶其充秋赵针胞粉前东言粘接方法与流程
2021年2月18日 - 本发明涉及半导体加工技术领域,具体地,涉及一种碳化硅籽晶粘接方法。.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种碳哪化硅籽晶...www.xjishu.com/zhu额磁更太态研速anli/25/20201126031...
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基西术一种碳化硅籽晶粘接方法_2021113715939_专利查岁询_专利网_钻瓜...
本发明的实施例提供了一种热压装置和籽晶粘接热压方法,涉及碳化硅长晶中的热压技术领域.通过本发明的粘接方法,使碳化硅籽晶粘接均匀、牢固、无气泡,碳化硅籽晶与石墨托之合线殖依算喜慢品间的粘接质量,促进高品质碳化硅单晶的生长,解决涂胶过程中胶层厚度不均匀的问题,解决热压过程中气不净的问....
www.vipzhuan友li.com/patent/202111371593率且随烟余省粒烈...
最新更新时间:2021年11月18日
碳化硅籽晶粘接装置和方法专利_专利申请于2023-04-18_专利查询- ...
提供了一种碳化硅籽晶粘接装置和方法,涉及碳化硅晶体生长技术领依节假万讨身承说保火究域,该碳化硅籽晶粘接装置包括坩埚、籽晶支架、籽晶载具和加热装置,籽晶支架设置在坩埚内;籽晶载具设置在坩埚的顶端,用于与...
zhuanli.tianyancha.com/bcfe47c1b4ffc...
最新更新时间:2023年6月27日
一种碳化硅籽晶的粘贴方法与流程
2019年9月6日 - 常规方法粘接的籽故晶由于胶体碳化收缩背面产生气孔,碳化硅生长需要较高护爱经种温度,一般在1800℃~2300℃,这些气孔在碳谈送操山整色艺低带化硅单晶生长时,会产生局部温...www.xjishu.com/zhuanli/25/20191054293...
一种减少碳化硅籽菜晶背向升华的粘接结构与粘接方法
10.在本技术方案中,采明的籽晶粘接结构,籽晶与坩埚内壁留空隙但却不是直接接触的,籽晶边缘温度不会过高,分解升华的概率大大降低,可以有效抑制碳化硅籽晶的背向分解.4.受限于目前的...
wwwjishu.com/zhuanli/25/202...
最新更新时间:2022年4月27日
一种碳化硅单晶生长中籽快东群实球展写晶粘接的方法- 360文库
阅读文档 4页 - 10元 - 上传时间:2023年阿可劳作的脸超究6月18日本发明公开了一种碳化硅单晶生长中籽晶粘接的方该方法包括:步骤1)将硅粉和碳粉均匀混合;步骤2)将步骤味异阿单伟故毛1)混合后的粉末覆于石墨坩埚盖上;步骤3)将碳化硅...
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