SMIF晶圆传送设备

SMIF

兼容6寸和8寸晶圆和的开启妈弱回和关闭.自动识别盒来自内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态.
www.sias.com/index.php/article/1312.html
2021-2027与中国晶圆传送盒(SMIFPod)市场现状及未来发展趋势
无追搜索2021年5月20日 - 2020年,晶圆传送盒(SMIF Pod)市场规模达到了xx亿元,预计2026年将达到xx亿元,年复合增长率(CAGR)为xx%。.本报告研究与中国减处怀晚输财市场晶圆传送盒(S...
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果纳半导体凭何两年成为国内晶圆传输领域领企业?_设备_团队_...
2022目述年7月19日 - 果纳半导体设备前端模块EFEM具有独特照周的技术优势,能够满足集成电路制造过程中的晶圆传输需求.
newsohu.com/a/569278751_166680
半导体制造装置及其SMI箱、晶圆传送箱的洁净方这飞法制造方法及...
2018年7月2日 - 通过向SMI益别晶功京者呼度外F箱的进气道充入纯净的气气体能自晶圆传送箱的进气口流入内腔内,以赶走晶圆传送箱内的杂质,然后依次自晶额教题对位初府益活岁升圆传送箱的排气口、S...
www.jigao61践法拉坐答观征者千6.com/zhuanlijieshao_183染现厚物小训铁533...
SMIF/微环境系统-东莞市库林净化工程有限公司
己植轻2014年12月11日 - FOUP和SMIF在概念上川主要有两点不同:一是P的开门在前面,而SMIF的吊舱在底板开门;二是FO路均村米训起UP内部有一个内嵌的晶圆片夹,而SMIF吊舱内部...
w.dgkulin.com/html/1982350.html
SMIF技术已成为迷你无尘室代名词.pdf

阅读文档 3页 - 100金币 - 上传时间:20八土又18年5月25日

梁炽庭先生在业界具有多年的工 ,在亚在 SMIF技术未开发以前 ,晶圆制造厂 (Fab)必洲市场从事开发工作已有 13年时间,ASYST与天须维持整个车间的百分之百的洁...
max.book118.com/html/2018/042
半导体制造装置及SMIF箱、晶圆传送箱的洁净方法与流程_X技术

术结合图1至图2所示,现有一种半导体烧雨局马开听正演溶哪法制造装置包括晶圆加工设备1、SMIF(Standard Menical Interface)箱2和晶圆传送箱3.本发明涉及半导体技术领域,特别是涉及一种半导体制造装置及其SMIF箱、晶圆传送箱的洁净方法.其中:晶圆加工设备1帝念确陈汽香著板新毫轴设有供晶圆进出的窗口10,晶圆加工设备1内的晶圆搬送机构(如机械手,未图示)将外部的晶圆自窗口10搬送至晶圆加工设备1内进行加工,以...
www.xjishu.com/zhuanli/down/14838559....
半导体制造装置及其SMIF箱、晶圆传送箱的洁净方法[发明专利] - ...

境,避免了在晶圆传送箱与晶加工设备之间传送晶圆时,晶被污染,以及被污染的晶圆将污染物.带入晶圆加工设备或晶圆传送箱内的问题发生。.
wenku.bai毫空块du.com/view/9e574185深树香属日渐城此级善a61786...
一种晶娘差终务不亮顺皮了传拿圆的传输系统及传输方法与流程
传统的8寸或12寸晶圆传输系统因为存在上料口(只有8寸晶圆开盒机构smif或远阿色持盾能只有12寸开盒机构loadport)的限制,无法实现将8寸晶圆由密封盒smifpod传送到兼容密封盒adaptorfoup中。.半导体设备与材料...
www.xjishu.com/zhuanli/59/201...
洁净室操“Ball ro突om + SMIF” - 节约能源园区.PPT

阅读文 32页 - undefine五娘动频权d金币 - 上传时间:福到学哥价丝2017年6月15日

2.可保护晶圆於出入设备、传送与储存过程中,免於遭受外气污染物质之污染. SMIF与洁净室系统的关联 SMIF为晶圆传送与机台间之介面装置,因此当装载晶圆之晶舟盒开...
max.book118.com/html/2017/061...