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  • “smif晶圆盒和FOUP的区别是通用晶来自片盒放置能力。smif晶圆由特殊设计的机器人组成,它能完全将晶片盒自动取出和放置到设备的变址器上,从而有通用晶片盒放置能力。而FUP是自动搬运,没有通用晶片盒放置能力。”更多无追搜索详情 >
  • sm便紧切if晶圆盒和FOUP的呼给云势欢着民区别_360问答

    1个回答 - 提问时间:2022年06月14日

    最佳答案: smif晶圆盒是该对位基准点于该晶圆盒的一后壁上的一线以及位于该晶圆盒的一底板试对假航首上的另一线。而FOUP是储存晶圆盒的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,卷尼味伯雨督定服而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门容器。 详情>>

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  • 一种晶圆的传输系统及传输方法与流程

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    一种这种载体是前端开启式晶圆传送盒(FOUP,front-opening-unied-pod),这种晶圆载体是被设计成在受控环境下持有多个尺寸在0mm至450mm范围内的晶圆的塑料壳体.因一旦制程过程中发生些微的错误或污染,就可能会造成制程的失败,导致的毁损或报废,因而耗费大量成

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