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1个回答 - 提问时间:2022年06月14日
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1分钟解读100万字长文
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一种这种晶载体是前端开启式晶圆传送盒(FOUP,front-opening-unied-pod),这种晶圆载体是被设计成在受控环境下持有多个尺寸在0mm至450mm范围内的晶圆的塑料壳体.因一旦制程过程中发生些微的错误或污染,就可能会造成制程的失败,导致晶圆的毁损或报废,因而耗费大量成
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1个回答 - 回答时间:201月10日 - 1
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晶传输盒 /前开式晶圆传 00mm(12英寸) 25slot FOUP.● 产品名称:FOUP前开式晶圆传输盒 .
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smif晶圆盒和foup的区别
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