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共11页3.0本发明提供了一种气体流量传感器及其制作方法。气体流量传感器包括:热膜敏感芯片、上气罩盖和下气罩盖;上气罩盖设置在热膜敏感芯片顶部,且上气罩盖与热膜敏感芯片键合后形成供气体流通的第一气体流动通道;下气罩
共2页5.0气体流量传感器的数据处理气体流量传感器可直接测量介质的流量,其测量结构不受被测介质温度、压力、密度、黏度变化的影响。气体流量传感器的数据处理技术,气体流量传感器的数据处理技术提供了一个“通往处理的窗户,当浏览这个窗户时,首先集中在测量管振动
共2页5.0气体流量传感器的热效应介绍r气体流量传感器具有压力损失小,量程范围大,精度高等特点,在测量工况体积流量时几乎不受流体密度、压力、温度、粘度等参数的影响。且气体流量传感器无可动机械零件,因此可靠性高维护量小。r气体流量传感器工作原理r气体流量
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