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本发明提供一种碳化硅靶材组件及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:(1)对碳化硅靶材坯料依次进行切料、粗磨、线切割以及精磨,得到碳化硅靶材;(2)钎焊接背板与步骤(1)所得碳化硅靶材,得到碳化硅靶材....本发明提供的制备方法简单易操作,解决了碳化硅靶材焊接时的开裂现象,提高了碳化硅靶材与背板的结合率,降低了单个缺陷率。.
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