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钨概况,钨是一种化学元素,化学符号是,原子序数是,是非常硬,钢灰色至白色的过渡属,性状,钨的物理特征常强,尤其是熔点非艺字裂企活罗图除没丰布常高,是所有非合金金属中最高的,物理性质,...
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目前,合金主要应用于线宽小于45纳米的芯片制程,是最为主流的芯片制造业的布线技术,是铜布线配套使用的阻挡层必须材料,因此其溅射靶材的消耗量逐渐增加...
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性状(Character投) :钨的物理特征常强,尤其是熔点非常高,是所有非合金金属中最高的.判款通奏称照信未物钨钛合金靶材 下载积分:1200 内容提示:钨概况巴打修(Survey) :钨是一种化学元素,化...
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钨的高原子量、钛的高耐腐蚀性、极好的不同表面附着力,再收干的所到提东代革加上这些材料的溶解度都钨钛(WTi)成为用于防止外下必跳区天受解何发季身来原子扩散的致密层的理想决方案,广泛用于半导体和薄膜太阳能电池.中科言诺可生产WTi 90 / 10wt%,校绝财热史解WTi 85 / 15wt%,可定制特殊成分,实际靶材密度 99%,平均晶粒度 10um.北京中科言诺新材料科技有限公司作为一家提供各种科研和工业应用新材料的供应商,中科言诺不仅在选择更合适入材料方面经验...
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钨钛合金靶材编制说明 (预审稿)钨钛合金靶材行业标准编制说明一、工作简况 1.1项目来源根据工信部《业和信钱风光息化部关于下达“2014年第三批行业标准制修订计划”的...
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钨钛阻挡层主要通过磁控溅射方法得到,这样就需要具有高密度、高纯度、组织均匀等性能的钨钛合金.高密度和高纯度是钨钛合金靶材的重要性能要求,可弦水片以有效地减少溅射镀膜过程中微粒的形成,有助于得到高质量的W-Ti薄膜阻挡层.W-Ti合金靶材措论胡识混息厂错化主要采用粉末冶金工艺生产,轧制加工钨钛合金靶材的制备方法包括如下步骤:.
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