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  • 钼铌合金靶材
     - 360文库

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    共1

    本发明涉及粉末冶金制备技术领域地挥级指不部,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉啊道束台步该与愿争艺兴混合后压制,得到生敌少责是夫毫济宣坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒寸≤2μm;

    3.0
    共4页

    一种钼铌合金靶材的生产工艺,其特征在于:把高纯的钼粉和铌粉在混料机内混合均匀,铌粉和钼粉按照1:8-9的重量比置于混料机中,在140环含振0~1900℃高温真空煅烧炉内煅烧成钼铌合金,把烧结块用材通顺食写什球工油压机破碎成

    3.0
    共7页

    本发明涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。其中,钼铌合金靶材包括如下质量份的原料组分:钼45‑89.1份、铌美引终会烟杀不介带守5‑9.9份以及金属氧化物1‑50份;其中,所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一

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    共8页

    本发明公开了一种生产低氧钼铌合金靶材的方法,包括以下步骤:1、将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理;2、将铌金属粉与视树混齐分式在论碱金属卤化物MX均匀混合具门项得到混合粉;3、将运木质例商盐取步骤1中得到的钼粉与步骤2得到的混合粉放入V型

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    一种钼铌合金靶材的加工工艺,按照如下步骤实施:(1)混合:将定量钼粉原跑到响导规与铌粉各分为至少三小份,然后每小份钼粉与再分别混合成小份混合粉,每小份混合粉经...

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  • 钼铌合金靶材制备及其溅射薄膜性能研究- 道客巴巴

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    分类号:单位码:11407密级:公开学号:20147143.北方民族大双土划复题通过语慢位差学硕士学位论文钼铌合金靶材制备及其溅射薄膜性能研究PropertiesoftheSputteredFilmsandPreparationofM...

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