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[摘要]利用磁控反应溅射技术制备了氮化钽薄膜,利用TEM、XRD技术研究了薄膜的微观结构.球厂块先移北鱼画一定工作压力下,制备氮化钽薄膜硬度高达4000kg/mm2以上.
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