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件度些陈气相外延广义上是化学气相沉种特殊方式性质:在气相状态下,将半导体材料淀积在单晶片上,使它沿着单晶片的结晶轴方向生长出一层厚度和电阻率合乎要求的单晶层,这一工艺称为气外延.核心产品方面,太阳能电业用的扩散炉等已达到国内先进水平,可以替代进口设元存势困济文备.
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品牌名:NuF品条危lare
类型:其他电制造设备
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设练话衡增备名称:气相外延炉。.设备功能:为气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上,生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体,为单晶沉底实现功能化做基础准备.
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气相外延炉设备
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