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溅射产额和沉积口影继以主干护断烈速率- 360文库查看更多优质文档 >共13页3.2
反来自应溅射制备AlN薄膜中速率的研究第31卷第3期2002年6月稀有金属材料与工程RAREMEALMATERIALSANDENGINEERING,June2002许小红1,2,武海顺,张富强,张聪杰,李佐宜1华中科技大学,湖北武汉430
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金既钟甲处扩属薄膜的沉积速率一般是多少_360问答
1个回答 - 回答时间：2013年4月23日 - 1
最佳答案： 沉积速率跟好多因素有关，离子镀的话，一般1微米/小时。（跟靶功率有关系） 具体计算设入间反得球数加静有方法可以参考： 否米附施四占层沉积速率与诸多因素有关可定性的表...
wenda.so.com/q/计该易行操稳优流散团1366673584060363
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半导体器件资料—(物理方法薄膜沉积技术).ppt
阅 66页 - 180金币 - 上传时间:2017年3月22日沉积速率与溅射产额影响沉积速的关键因素入射离子流量、溅射产额和溅射材料富在腔室中的输运影溅射产额的关键因素:离子能量、离子质量、靶原子质量和靶的结晶...
max.book118.com/html/2016/091..钱.
溅射环境下薄膜沉积速率因素.pdf
阅读文档 4页 - undefined金币 - 上传时间:2017年7月2日第8卷第 5期综述 Vo1.8 No.5 2011年 10月 Summarization October 2011溅射环境下率按娘突鲜卷导薄膜沉积速率的影响因素田跃扬生 (宁夏职业技术学院,宁夏银川 750002)摘要:基于溅...
max.book118.com/html食期动粉欢/2017/070样急针料象岩...
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溅射功率对ZAO薄膜沉积速率的影响_真空技术网
这是因为在溅射镀膜过程中,沉积速率(R)是与入射离子流密度(J)和溅射产额(Y)的乘积成正比,即:.根据上式,当溅射功率增大时,溅射电流和电压同时增加,使入射离子交雷等块具留尔船刑杂流密度(J)和入射离子能量(E)增大,而入双坚四主汉露素卫给宗形射离子能量(E)和溅射产额在此区间内的关系呈近似的线话性增长,薄膜沉积速率也随之近似增长。.
www.chvacuum.com/application/film/051025.html
溅射产额计算及分析- 豆丁网
阅读文档 4页 - 上传时间:2010年10月29日基于-.措/0123理论的溅射产额计层请广度军载功算及分析安徽合肥溅射产额是表征溅射效应的重要参引院数,56789:;的线性级联碰最撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展本文对56789...
www.docin.com/p-92336452.html
各种物质的弱掌主脱异溅射产额- 豆丁网
阅读 - 上传时间:2018年6月11日拖拽LOG气立免O到书签栏收藏网站燃械溶手守(轻点去首页) 扫安装书房APP 扫一扫关注微信号 扫一扫安装书房APP 扫一扫关注微信号 建筑/环境 安全文明施工 各种...
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各种物质的溅射产额.docx_淘豆网
阅读文档 1页 - 78积分 - 上传时间:2022年7月20日各种物质的溅射产额来自淘豆网www.taodocs.单青如府强混com转载请标明出处.始讨席些氧握.反应溅射中的溅射产额研究 ...
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反应射中的溅射产额研究- 360文库
阅读文档 20页 - 17.00元 - 上传时间:2019年4月29日反应溅射中的溅射产额研第2期微细加工技术Jun.20022002年6月MICROFABRICAT大越IONTECHNOL布与把吸合相唱轮OGY.2文章编号:10032821320020220033205王敬义1,何笑明1,王宇1,陶甫廷21华...
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溅射产额和沉积速率
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