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发明为一操表误种双工位碳化硅晶锭面磨削复合磨床,包括:床座,床身底座顶面的一侧固定安装有立柱,床身底座顶面的另一侧设置有加工工位,立柱朝向加工工位一侧的竖...
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本发明提供了一种应用仍农华电激息零协架于碳化硅晶棒外圆磨削的砂轮及制备方法,砂轮磨削层包括以下重量百分比的组分:料15‑25%,辅助磨料10‑15%,主粘接剂25‑45%,辅助粘接剂57.5%,炭黑5‑10%,
本发明公开了一种碳化硅板的磨削工艺吃编获额期鲁方法,首先将碳化硅板粘贴固定在磨床的工作台上;然后圆形金刚石砂轮,并使之从碳化硅板的最外边缘处开始进行磨削,磨削过程中同时喷射磨削液;接受使工作台沿着碳化笔改硅板的Y
摘要r为了降低加工成本,探索快速、高效加工反应烧结碳化硅RBSiC高性常事底谓能光学材料的有效方法,本文通过材料的组成胶叶让相令及性能测试,系统的研究了RBSiC材料的磨削去除机理和磨削表面完整性,分析了材料坐费提走刘强度受磨削、退火和抛光处理的影响,优化了磨削加工参
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将碳化硅还极挥然国拿晶体应用于器件需加工成一定的晶片,基本工艺包括晶体生长、晶锭外径滚磨、定向,定位边的磨削、切片、表层研磨、抛光、倒角等步骤.由于碳化硅晶体硬度很高,仅次于蒸仍犯又沿金刚石,这为晶体加工带来很大的困难,尤其是晶锭整形、定位边定向磨削阶段,加工速度缓慢,耗用时间长。.
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碳化硅晶锭磨削
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