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  • 射频溅射_360百科

    射频溅射是利用射频放电等离子体中的正离子轰击靶材、溅射出靶材原子从而沉积在接地的基板表面的技术。射频溅射:用交流电源代替直流电源就构成了交流溅射系统,由于常用的交流电源的频率在射频段( 5~30MHz )所以这种溅射方法称为射频溅射。射频溅射... 详情>>
    基本简介 - ​基本原理 - 产品特点 - 应用范围

    baike.so.com/doc/2238131-236...

  • 什么是直流溅射射频溅射、中频溅射- 知乎

    2020年7月21日 - 什么是直流溅射、射频溅射、中频溅射直流磁控溅射: 切换模式 写文章 什么是直流溅射、射频溅射、中频溅射 蒂姆新材料 溅射靶材镀膜金属颗粒...

    zhuanlan.zhihu.com/p/162085714

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  • 射频溅射技术.pdf

    阅读文档 11页 - undefined金币 - 上传时间:2017年9月11日

    射频溅射技术.pdf,实验十四高频溅射技术一、引言溅射就是利用气体放电中的高能粒子(正离子或原子)轰击固体表面,使某些表面原子从其中逸出的现象。溅射的基本原理...

    max.book118.com/html/2017/091...

  • 射频溅射-技术资料-51电子网

    射频溅射(RF№tltte。llbo)是指激发气体等离子化的电场是交变电场的溅射方法。1966年IBM公司首先研发出了射频溅射技术,它可以溅射绝缘介质。L78M05CDT这一溅射方法的...

    www.51dzw.com/embed/embed_116179...

  • 直流磁控溅射(DC)和射频磁控溅射(RF) - 知乎

    2019年3月8日 - 直流磁控溅射(DC)和射频磁控溅射(RF)直流运用直流电源,射频运用交流电源(射频属于交流范畴,频率是13.56MHz。我们平常的生活用电频率为50Hz)。直流磁控溅射一般用于导电型(如金属)靶材的溅射,射频一般… 切换模式 写文章 直流磁控溅射(DC)和射频磁控溅射(RF) 蒂姆新材料 溅射靶材镀膜金属颗粒合金熔炼材料工程师蒂姆北京新材料...

    zhuanlan.zhihu.com/p/5865421...

  • 直流反应溅射射频反应溅射- 360文库

    阅读文档 2页 - 10元 - 上传时间:2018年2月12日

    直流反应溅射和射频反应溅射直流反应溅射和射频反应溅射的主要问题为,直流反应溅射不稳定,工艺过程难控制,溅射速率较低,射频反应溅射设备贵,匹配困难,有人身防护...

    wenku.so.com/d/670f197d4ffaea8656646b670eb0...

  • 射频磁控溅射原理_360问答

    1个回答 - 回答时间:2013年4月28日 - 1

    最佳答案:射频磁控溅射制备薄膜是一种很成熟的技术,起源于上世纪70年代。通俗的讲就是在真空的状态下,将要溅射的元件等离子化,然后把这种等离子的类气体涂在...

    wenda.so.com/q/1367091995064876

    更多 射频溅射 相关问题>>

  • 【PPT课件】射频磁控溅射法制备ZnO薄膜- 道客巴巴

    阅读文档 48页 - 1000积分 - 上传时间:2013年3月2日

    【PPT课件】射频磁控溅射法制备ZnO薄膜 格式:PPT 页数:48 上传日期:2013-03-02 09:18:09 浏览次数:81 下载积分:1000 用阅读器打开 加入阅读清单 下载稻壳阅读...

    www.doc88.com/p-8109915974965.html

  • 射频溅射法制备氢化纳米硅薄膜- 豆丁网

    阅读文档 - 上传时间:2015年7月5日

    上海交通大学硕士学位论文射频溅射法制备氢化纳米硅薄膜姓名:***请学位级别:硕士专业:光学工程指导教师:**强;孟凡英20040101上海交通大学硕士研究生毕业论文射频...

    www.docin.com/p-1209831924.html

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