电弧离子镀_360百科
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电弧离子镀- 360文库查看更多优质文档 >共5页
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共7页一种电弧离子镀的圆环靶材。所述电弧离子镀的圆环靶材包括靶材,磁靴,中心磁铁,以及电磁线圈。所述靶材包括本体,以及通孔。所述中心磁铁位于所述通孔内且与所述通孔的内侧壁间隔设置,所述中心磁铁用于提供轴向的
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