磁控溅射法_360百科
薄膜沉积—磁控溅射法(原理篇) - 知乎
磁控溅射法具有设备简单、镀膜面积大、基面升温缓慢以及成本相对较低的特点,在科研领域得到了广泛的应用,本文以作者浅薄理解为基础,磁控溅射镀膜技术为例,从以下几个方面带读者进行一个初步了解...
zhuanlan.zhihu.com/p/1384281...
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磁控溅射法- 360文库查看更多优质文档 >共7页5.0
磁控溅射法镀膜实验报告一、背景磁控溅射法是一种将固体材料通过放电气体放电,加热获得高速离子,利用磁场定向加速的方法,使离子轰击在靶材表面并抛出金属原子,在真空中冷却并沉积在基底表面,形成膜层的工艺。磁控溅射法是一种常用的
共43页5.0磁控溅射法沉积硅薄膜的研究武汉理工大学硕士学位论文姓名:刘本锋申请学位级别:硕士专业:光电子及信息材料指导教师:赵青南赵修建20090501摘要太阳电池是一个朝阳产业,也是现在发展正非常火热的一个行业。非晶硅、微晶硅薄膜太阳电池在硅系太阳电
共62页5.0材料制备技术实验物理与电子工程学院材料制备技术实验讲义目录实验1磁控溅射法薄膜材料的制备2实验2真空电弧熔炼法制备合金材料6实验3定向凝固法制备取向合金材料11实验4非晶薄带材料的制备16实验5钢的热处理21实验6高温氧化物超导材料的制备3
共2页3.7磁控溅射法生长Fe膜及其性质分析一、磁控溅射技术磁控溅射技术是一种通过磁场控制电子的轨迹,使得金属靶材的表面产生离子化现象,并被沉积在衬底上的一种金属薄膜制备技术。磁控溅射技术具有精准控制成膜速率、组
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磁控溅射法- 豆丁网
阅读文档 2页 - 上传时间:2009年12月25日磁控溅射法离子束溅射法成薄膜过程中可把衬底控制在较低的温度范围,它不仅能溅射各种合金和难熔金属,而且可以溅射像SiO2这样的绝缘膜。溅射膜具有较好的均匀性、...
www.docin.com/p-37937369.html
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磁控溅射法_文档下载
提供磁控溅射法文档免费下载,摘要:2.3磁控溅射法离子束溅射法成薄膜过程中可把衬底控制在较低的温度范围,它不仅能溅射各种合金和难熔金属,而且可以溅射像SiO2这样的绝...
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磁控溅射法镀制红外低辐射膜的研究进展- 道客巴巴
阅读文档 4页 - 1000积分 - 上传时间:2015年2月2日研究者们在用磁控溅射法制备红外低辐射薄膜方面开展了许多工作 ,最近几年 ,用该方法分别在玻璃和柔性衬底上镀制红外低辐射薄膜发展的很快.摘要:本文介绍了采用磁...
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直流磁控溅射法沉积氧化镍电致变色薄膜及其性能研究- 道客巴巴
阅读文档 86页 - 2500积分 - 上传时间:2019年10月27日内容提示: (申请工学硕士学位论文)直流磁控溅射法沉积氧化镍电致变色薄膜及其性能研究位培养单位 :材料科学与工程学院业学科专业 :材料科学与工程研究生生 : :张...
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磁控溅射法沉积硅薄膜的研究- 豆丁网
阅读文档 43页 - 上传时间:2017年5月26日薄膜磁控溅射法沉积光系数低溅射沉积速率.磁控溅射法沉积硅薄膜的研究武汉理工大学硕士学位论文姓名:***请学位级别:硕士专业:光电子及信息材料指导教师:**南;赵...
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磁控溅射法
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