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单晶硅生长炉- 360文库查看更多优质文档 >共10页3.0
本发明公开了一种单晶硅生长炉,其特征在于在石墨坩埚口上设有分流导流筒,且在主加热器周围设有竖直分流筒,使氩气气流被竖直分流筒分隔成两股,一股进入竖直分流筒内经过主加热器排出腔体,另一股直接从竖直分流筒
共8页3.0本发明提供一种单晶硅生长炉,包括:坩埚;支撑所述坩埚并使所述坩埚旋转的底座;收容所述底座的基底腔室,所述基底腔室带有石墨导管,所述底座下部收容在所述石墨导管内;其中,收容在所述石墨导管内的底座下部设有
共2页5.0单晶硅生长炉原理单晶硅生长炉原理单晶硅生长炉原理单晶硅生长炉原理首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体,称作籽晶,插入
共5页3.0一种单晶硅生长炉真空支持系统,包括:主炉腔、主真空泵、辅真空泵、主阀、辅阀、隔离阀和上炉腔,其中:主炉腔由主阀与主真空泵相连,由隔离阀与上炉腔相连,上炉腔由辅阀与辅真空泵相连。本发明在主真空支持存在故
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单晶硅生长炉_360百科
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品牌名：天通吉成机器技术有限...
类型：推板隧道炉
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2022年10月10日 - 【单晶硅生长炉】新闻 搜索结果 布了贯彻落实第二轮中央环保督察报告整改方案。各地列出的整改任务清单,无一例外均涉及高耗能高排放(以下简...www.bjx.com.cn/023816
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自61年起开始生产晶体生长设备。主要产品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛机电工程有限公司是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀,自主研发了真正的全自动控制...
baike.ofweek.com/969.html
单晶硅生长炉- 360文库
阅读文档 3页 - 10元 - 上传时间:2023年12月9日单晶硅生长炉单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备,主要由主机,加热电源和计算机控制系统三大部分组成,1,主机部分,机架,双立柱双层水冷式结构炉体水冷...
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