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  • 外延生长

    发贴时间:2020年4月4日 - 

    外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻,又要求材料能耐高压和大电流,因此需要在低阻值衬...

    www.360doc.com/content/20/0...

  • 外延生长
    百科

    外延生长是指在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层,犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时,是为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻,又要求...详细>
    时间:50年代末60年代初
    方法:减小集电极串联电阻
    途径:气相外延工艺
    中文名称:外延生长
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  • 第6章外延生长.pdf - 豆丁网

    阅读文档 19页 - 上传时间:2012年7月27日

    第六章外延生长第六章外延生长(epitaxygrowth)6.1引言6.1.1外延生长外延生长实质上是一种材料科学的薄膜加工方法,其含义是:在一个单晶的衬底上,定向地生长出与基...

    www.docin.com/p-450456152.html

  • 外延生长技术简介- 360文库

    阅读文档 11页 - 20.00元 - 上传时间:2021年5月12日

    MOCVD外延生长技术简介摘要:MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术,本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造。160160160...

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  • 外延生长的基本原理与应用领域- 360文库

    阅读文档 6页 - 20元 - 上传时间:2019年6月16日

    外延生长的基本原理与应用领域外延生长的基本原理是,在一块加热至适当温度的衬底基片,主要有蓝宝石和SiC,Si,上,气态物质In,Ga,Al,P有控制的输送到衬底表面,生长...

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  • 半导体材料外延生长- 360文库

    阅读文档 124页 - 35.00元 - 上传时间:2019年4月20日

    半导体材料IIIV族化合物半导体的外延生长剥弗贾请哨宵鲸答跺忆均祸泊草仆忠障畏翼拽匆冬拌逮赡吹垛捆探转镍拱半导体材料外延生长半导体材料外延生长第七章IIIV族...

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  • 第六章外延生长- 360文库

    阅读文档 30页 - 10元 - 上传时间:2017年12月8日

    第六章外延生长,Epita,ialGrowth,外延生长,Epita,ialGrowth,工艺,概述气相外延生长的热动力学外延层的掺杂与缺陷硅气相外延工艺小结,参考资料,微电子制造科学原...

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  • MOCVD外延生长技术简介- 360文库

    阅读文档 11页 - 5元 - 上传时间:2017年5月14日

    MOCVD外延生长技术简介摘要,MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术,本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造,外延生长的...

    wenku.so.com/d/c4b92fdc7a85428261e6477e5a0...

  • (1)GaN外延生长流程- 360文库

    阅读文档 47页 - 19元 - 上传时间:2020年12月7日

    衬底材料的选择,不同的衬底材料,衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线,结构特性好,外延材料与衬底的晶体结构相同或相近,晶格常数失配度小,包括导热性好和热失...

    wenku.so.com/d/8f020fe4da778e0ac12f0b975f07...

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