快速退火炉_360百科
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添加扩展到浏览器添加后不再显陆左希土介示 想买台快速退火炉?这几个关键信息一定要明白! - 知乎
2022年4月2意电7日 - 快速退火炉(Rapid Thermal Processing,简称RTP车步免慢较),是利用红外灯管加热术和腔体冷壁技术,实现快速升温和降温,从而实现特定热处理工艺。其主...zhuanlan.zhihu.com/p/505495808
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阅读文档 - 上传时间:2016年11月3日国防科学技术大学研究生院工程硕七学位论文摘要快速退黄远测笑火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。主要用于离子注入后杂质的激活、浅制作、生长高质量...
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