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  • 气相沉积法
    百科

    化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说,它是很简单...详细>
    外文名:Chemical Vapor Deposition (CVD)
    目的:使得气态前驱体中的某些成分分解
    中文名:气相沉积法
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  • 化学气相沉积课件- 360文库

    阅读文档 45页 - 20元 - 上传时间:2020年8月8日

    化学气相沉积,化学气相沉积,CVD,是利用加热,等离子体激励或光辐射等方法,使气态或蒸汽状态的化学物质发生反应并以原子态沉积在置于适当位置的衬底上,从而形成所...

    wenku.so.com/d/c22f4f4235a9cdae6c9329e708c...

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  • 金属有机化学气相沉积法- 360文库

    阅读文档 5页 - 10元 - 上传时间:2018年2月8日

    1金属有机化学气相沉积一,原理,金属有机化学气相沉积,MOCVD,是以族,族元素的有机化合物和V,族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行...

    wenku.so.com/d/2a21171d9250a41a4daff41e9b3...

  • 气相沉积法
     - 360文库

    5.0
    共10页

    现代材料加工工艺,技术与装备题目,气相沉积技术姓名,肖彦荣学号,123312053学院,粉末冶金研究院1,概述1,1气相沉积的分类及特点气相沉积技术是近30年来迅速发展的一门新技术,它是利用气相之间的反应,在各种材料或制品表面沉积单层或多层

    3.0
    共15页

    化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯化学气相沉积(CVD)CVD反应体系应满足的条件:1CVD技术在无机合成时的特点01CVD装置渗碳析碳机制:对于镍等具有较高溶碳量的金属基体,碳源裂解产生的碳原子在高

    5.0
    共30页

    数智创新变革未来化学气相沉积法化学气相沉积法简介CVD原理及反应类型CVD设备及其组成部分CVD工艺过程及参数控制CVD薄膜特性及应用CVD技术优缺点分析CVD技术发展趋势总结与展望ContentsPage目录页化学气相沉积法简介化学气相沉

    5.0
    共4页

    第一章化学气相沉积法化学气相沉积法对原料、产物和反应类型的要求利用气态或蒸气态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术。1反应原料是气态或易于挥发成蒸汽的液态或固态物质反应易于生成所需要的沉积物,副产品保留在气相中排出或易于分离整个

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  • 化学气相沉积法- 360文库

    阅读文档 4页 - 10元 - 上传时间:2018年2月17日

    化学气相沉积法摘要,本文从化学气相沉积法的概念出发,详细阐述了利用化学气相沉积法制备石墨烯以及薄膜,并展望了未来化学气相沉积法可能的发展方向,关键词,化学...

    wenku.so.com/d/524bbb72b049f347307abfeb550...

  • 化学气相沉积法.ppt - 360文库

    阅读文档 51页 - 10元 - 上传时间:2018年8月14日

    2,化学气相沉积法,CVD,3,溶胶凝胶法定义,利用气相反应,在高温,等离子或激光辅助等条件下控制反应气压,气流速率,基片材料温度等因素,从而控制纳米微粒薄膜的成核...

    wenku.so.com/d/8833965865b08d31ef3c57d9d11...

  • 四种气相沉积法.doc

    阅读文档 12页 - 199金币 - 上传时间:2018年3月31日

    光纤制备中的工艺研究 — ***班 ***一.引言人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影...

    max.book118.com/html/2018/033...

  • 薄膜制备技术-气相沉积法- 道客巴巴

    阅读文档 73页 - 1500积分 - 上传时间:2018年10月2日

    气相沉积法制备薄膜北京交通大学理学院二零一三年九月

    www.doc88.com/p-9109186933990.html

  • 改进的化学气相沉积法.ppt

    阅读文档 17页 - undefined金币 - 上传时间:2017年9月3日

    南京邮电大学光电工程学院光通信研究所光纤的制造光纤的制造要经历光纤预制棒制备、光纤拉丝等具体的工艺步骤。制备光纤预制棒两步法工艺:...

    max.book118.com/html/2017/062...

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