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电子特种气体基础知识- 360文库
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电子气体是仅次于硅片和硅基材料的国内第二大市场需求半导体材料,2016年,国内需求为48.02亿元;据全球半导体协会统计,目前常用的电子气体纯气有60多种,混合气有80多种...
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