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  • 磁控溅射
    百科

    磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法...详细>
    外文名:Magnetron Sputtering
    技术类别:物理气相沉积 (PVD)
    中文名:磁控溅射
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  • 磁控溅射- 知乎

    2022年2月16日 - 磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密...

    zhuanlan.zhihu.com/p/468122643

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  • 磁控溅射详细介绍- 知乎

    2021年6月25日 - 磁控溅射技术得以广泛的应用,是由该技术有别于其它镀膜方法的特点所决定的。其特点可归纳为:可制备成靶材的各种材料均可作为薄膜材料,包括...

    zhuanlan.zhihu.com/p/3840456...

  • 磁控溅射- 道客巴巴

    阅读文档 5页 - 1000积分 - 上传时间:2014年8月9日

    磁控溅射成膜机理小探磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形...

    www.doc88.com/p-1853066603316.html

  • 磁控溅射简介

    2. 磁控溅射技术在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面也得到应用。在透明导电玻璃在玻璃基片或柔性衬底上,溅射制备SiO2薄膜和掺杂ZnO或InSn氧化物(...

    www.be-instruments.com/cn/new/new-62-942.ht...

  • 磁控溅射
     - 360文库

    5.0
    共42页

    磁控溅射镀膜技术,1,概述,2,溅射镀膜的基本原理,3,磁控溅射,目录,CONTENT,一,概述,1,定义溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场作用下高速轰击阴极靶,使靶材中的原子,或分子,逸出而淀积到被镀衬底,或工件,的表面,形成所需要

    4.7
    共5页

    磁控溅射操作流程及考前须知一、翻开冷却水箱电源注:水箱电源是设备的总电源。检查水压是否足够大,水压控制器是否起作用。二、放气确认磁控溅射室内部温度已经冷却到室温检查所有阀门是否全部处于关闭状态磁控溅射室的放气阀是V2,放气时旋钮缓慢翻开,这

    3.0
    共6页

    [资料]磁控溅射镀膜工艺大面积磁控溅射工艺1、简介在玻璃或卷材上制备旳用于建筑、汽车、显示屏和太阳能应用旳光学多层膜是运用反应磁控溅射以具有可反复旳稳定旳高沉积率进行生产旳。在整个基底宽度上旳良好膜厚

    5.0
    共26页

    让不可能成为可能MakingtheIMPOSSIBLEpossible磁控溅射原理815TCO1让不可能成为可能MakingtheIMPOSSIBLEpossibleoutline磁控溅射原理磁控溅射分类直

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  • 磁控溅射概述- 知乎

    2021年7月17日 - 磁控溅射是一种涉及气态等离子体的沉积技术,该等离子体产生并限制在包含要沉积的材料(“靶”)的空间内。靶材表面被等离子体中的高能离子侵...

    zhuanlan.zhihu.com/p/390519748

  • 磁控溅射原理详细介绍- 360文库

    阅读文档 18页 - 20元 - 上传时间:2018年11月21日

    磁控溅射原理详细介绍,磁控溅射镀膜原理,磁控溅射的原理,中频磁控溅射镀膜原理,磁控溅射的基本原理,等离子磁控溅射原理,磁控溅射镀膜原理动图,磁控,200,射镀膜机...

    wenku.so.com/d/b8b039fea1acc83366a94ec12c7...

  • 磁控溅射镀膜原理及工艺PPT课件- 360文库

    阅读文档 44页 - 10元 - 上传时间:2022年3月10日

    磁控溅射镀膜原理及工艺2010级化学工程与工艺班姚伟摘要真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用,真空镀膜技术有三种形式,即蒸...

    wenku.so.com/d/057d48f2615c7652c24e8a0c359...

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