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  • 离子注入机
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    高能离子注入的优势多样性:原则上任何元素都可以作为注入离子;形成的结构可不受热力学参数(扩散、溶解度等)限制;不改变:不改变工件的原有尺寸和粗糙度等;适合于各类精密零件生产的最后一道工序;牢固性:注入离子直接和材料...详细>
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    2021年3月16日 - 离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称四大核心装备,开发难度仅次于光刻机。具体分类,根据《离子注入机通用规范》(GB/T 15862-2012),离子注...

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  • 离子注入机分类及主要组成部件.docx-原创力文档

    阅读文档 2页 - 650金币 - 上传时间:2021年10月18日

    PAGE PAGE 1 离子注入机的分类、主要组成部分、零部件离子注入机的三大分类根据离子束电流和束流能量范围,离子注入机可分为三大类:中低束流离子注入机、低能大束...

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    近日,上海凯世通半导体股份有限公司向12吋集成电路新客户交付了首台面向CIS(CMOS Image Sensor)的大束流离子注入机。据悉,2024年一季度,凯世通每月向多家重复订单客...

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  • 高能离子注入机国产化在青岛实现新突破|传感器|青岛市_网易订阅

    2024年2月21日 - 去年,思锐智能成功研制出了国内首台能量达到8MeV(兆电子伏特)的高能离子注入机并成功交付国内头部企业,这意味着国产集成电路核心制造装备实...

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