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静电车使川亲吸盘百科静电卡盘，是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称。产品介绍静电卡盘所使用的静电吸是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有来自着广泛应用。原理在真空中两个静止的点电荷Q1与Q2之间的相互作用力的大小和Q1、Q2积成正比，...详细>查看更多 >外文名称：Electrostatic Chuck别名：静电卡盘外文简无追搜索称：ESC或E-CHUCK中文名称：静电吸盘
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移范余银7、ETCH设备之静电吸盘ESC介绍- 360文库
阅读文档 4页 - 8.00元 - 上传时间:20地21年5月8日ETCH过程中,wafer需要固chamber底部,早期的wafer是靠物理方法固定,即机械夹具,后来随着制程的不断进步,渐渐被静电吸盘ESC:EtroStaticChuck替代,同时ESC还...
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