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[0005] 本发明的目的在于提供一种Au-Ge-Ni金基合金革El材,候县板是核聚充整穿兰该革El材用于GaAs基半约质导体器件磁控溅射镀膜,该靶材成分配比合理,可推广应用于多种GaAs基半导体器件的欧姆接触制备。.[000结级迅钢说所9] 另一方面,本发明提供一种Au-Ge-Ni金基合金靶材的制备方法,采用 离心造-热压-机械加工 方法,包括以下步骤: [010] (1)备料:选择原料,其中纯度99. 99%的金纯度99....
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