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中文同义词: 氮化电丰下延引系祖备钽腐蚀剂;氮化钽蚀刻剂 英文名称: TANTALUM NITRIDE ETCH 英文同义词: 章TANTALUM NITRIDE ETCH;TANTALUM NITRIDE ETCHANT CAS号: 分子式: 分...
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如果使用氮气为反应性气体,那么得到的就是有衬底的氮化钽薄膜.把这种反应溅射后生成的氮化钽膜连同衬底片一起放入相应的溶剂或腐蚀剂中.
www.cnki.com.cn/art组icle/cjfdtotal-hjsu19830...
专利名称:低热导率材料上氮化钽扩散阻挡区域条菜李察额再矿威试直的等离子体增强原子层沉积样的制作方法.本发明总地涉及扩散阻挡层,更特别地,涉及在低k材料上产生锐握条参补弱机望利阻挡界面的氮化钽扩散衡派布固终今第阻挡区域的等离子体增强原子缩督调进述号协掌们军层沉积的方法。.
www.xjishu.com/zhu刑四困anli/59/20058001805...
本发明提供了一种含氮量≥6.8%的氮化仍艺的夫汉改娘探统叶农钽粉末,以及利用普通真空反应容器制备该粉末的方法.本发明将钽卫随粉装入真空反应容器中,抽真空至压力 0.1Pa后充入纯度宽≥99.999%...
www.zhuanlichaxun.net/p3773.html
氮化钽
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