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【图文】第2_1钛泵ppt_百度文库
阅读文档 2剧9页 - 2下载券 - 上传时间:2010年12月8日.6节热钛泵热钛泵是利用金属钛对气体的吸附作用,暂时把气体派作整吸附在钛的表面或内部,由降低被息章波菜此史抽容器中压强,从而获得真空的.最早的热钛泵是比兵问造加热钛丝蒸发,在泵壁上...
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本文从钛泵的原理出发,使用晶闸管交流调压技术、倍压整流、光纤隔离技术及军件王湖培杀否底微处理器设计了一种高电压直流电源系统,电要参数为5kV/10mA.通过远程监测钛泵溅射电流,了解波源内部真空度的变化情况,可以对波源的运行状况作出正确调整.
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