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真空蒸镀讲义真空蒸镀真空蒸镀法简称真空蒸镀是在真空室中,加热蒸发器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从外表气化逸出,形成蒸气流,入射到基体外表,凝聚形成固态薄膜的方法,由于真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生,所以又称热蒸发法
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