光刻机和刻蚀机，是相对应的。 国内能够生产光刻机的厂商，其实并不少，但比较出名的主要是中微半导体，由中国刻蚀机第一人尹志尧博士创办。 在创立中微半导体之前，尹志尧博士曾在英特尔、泛林、应用材料等企业均工作过，个人在半导体行业拥有86项美国专利和200多项各国专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。