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  • 氮化钽薄膜的制备与结构研究- 豆丁网

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    氮化钽薄膜的制备与结构研究材料工程/1998年9期Researcho千海且轮导nSynthesisofTaltanlumNitrideFi再困微四lmandItsStruce冷永祥黄楠杨萍(西南交通大学材料工程系)LengYongxian...

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