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  • 纳米氮化锆涂层腐蚀因素研究- 豆丁网

    阅读文档 - 上传时间:2002年11月11日

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    论文:摘要:为了避免直流反应溅射出现的靶中毒和宜研环德选核取坐灯衣打火现象,采用中频反应磁式延多制身已些虽控技术在不锈钢基体上沉氮化锆薄膜。实验表明,境影停修没势略具当炉内氮分压为45%,控制靶电压200V,靶电流为2...

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