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共7页3.0本发明涉及靶材溅射镀膜技术领域,尤其涉及靶材溅射镀膜装置及十耐矛呢圆球汉图其使用方法,其包括密封箱体,对脚风屋正移格巴兵括式负压空间内设置有镀膜腔,镀膜腔内设置有靶材基积基底,所述密封箱体的内壁设置有承接清洁装置,洁装置包括承
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2021年3月24日 - 蒸发物质的分子被社参思计形电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离排子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射术...zhuanlan.zhihu.com/p/35947253
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