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  • 一种自对准硅化物区域阻挡膜SAB的处理方法.pdf

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  • 山东概布液黄载通无机硅化物行业发征到根色风展报告- 豆丁网

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  • 金属硅化物的形成方法- 360文库

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    本申请公开了一种金属硅化物的形成方法,包括:提供一衬底,衬底上形成栅介质层,栅介质层上形成有栅极,栅极周侧形成有侧墙,侧墙外两侧的衬底中形成有重掺杂...

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