碳化硅涂层_360百科
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碳化硅涂层- 360文库查看更多优质文档 >共5页3.0
本发明公开了一种石墨表面碳化硅涂层的方法,其包括:取99.99%的石墨材料与硅烷按1比1的重量比例混合,制成石墨硅烷混合材料,然后按:炉预处理,通电升温,二次升温、保温,三次升温、保温,四次升温、保温
共9页3.0本发明公开一种CVD法碳化硅涂层的制备方法,包括以下步骤:(1)启动沉积炉的加温箱,使温度达到100‑160℃;(2)将石墨基体放入沉积炉内的转盘上,然后带动石墨基体旋转;(3)对沉积炉内抽真空,再充
共11页3.0本发明涉及锆合金基体表面碳化硅涂层材料的制备方法,包括:(1)对锆合金基体进行表面净化处理;(2)研磨聚碳硅烷成粉末;(3)配制聚碳硅烷的CCl4溶液;(4)在锆合金基体表面浸涂聚碳硅烷的CCl4溶液
共19页4.8碳化硅涂层碳化硅衬底碳化硅薄膜生产工艺r碳化硅制备方法,碳化硅涂层,碳化硅衬底,碳化硅薄膜生产工艺2010年11月16日星期二下午06:43碳化硅制备方法,碳化硅涂层,碳化硅衬底,碳化硅薄膜生产工艺rA2730402890001湿法烟气脱硫
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碳化硅涂层_碳化钽涂层_外延托盘-浙江六方半导体科技有限公司
碳化钽涂层_石墨盘_外延托盘-浙江六方半导体科技有限公司 关于我们 about 浙江六方半导体科技有限公司致力于半导体新材料研发,聚焦碳化硅涂层技术的研发及其在半导体...
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半导体用SiC/TaC涂层部件的研究进展|石墨|涂层|碳化硅_新浪新闻
碳化硅涂层要求纯度达到99.9995%以上,耐温可达1600摄氏度,主要目的是隔离气态硅和石墨,防止二者反应产生碳化硅颗粒污染晶圆。碳化硅需解决碳灰长晶成本构成问题,因为...
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碳化硅耐磨涂层-北京耐默科技
是在基材表面形成一层以碳化硅为主体的耐磨涂层,此耐磨涂层起到保护基材不被磨损腐蚀,一般来说碳化硅耐磨涂层是双组份的材料,混合搅拌均匀后在涂抹在金...
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碳化硅涂层有毒吗?碳化硅涂层的基本特性、安全评估和应用领域-...
碳化硅涂层是一种由碳化硅(SiC)颗粒组成的涂层材料,具有高硬度、高耐磨性、高温稳定性等特点。它可以应用于各种工业领域,如汽车制造、航空航天、机械加工等,以提高零...
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碳化硅耐磨涂层
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碳化硅耐磨涂层是一种分子聚合物材料,是是由耐磨颗粒(纯氧化铝刚玉瓷球、碳化硅、氧化锆、钛粉、磷铁粉末等)与改性增韧耐热树脂...
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《气相沉积法碳化硅涂层》团体标准- 360文库
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