半导体材料生产资料整理——磷化铟多晶_合成
2021年3月29日 - 磷化铟多晶工艺流程图一 工艺主线:原料封装→装炉→合成→结晶→冷却→去除氧化條→真空包装→来自入库。 具体工艺流程: ①原料封装 将高纯红磷...www.sohu.com/a/457810148_120812280
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阅读文档 8页 - undefined金币 - 上传时间:2021年6月3日GB/T 无追搜索36706-2018磷化铟多晶f,2018年新发布国际标准,即将实施,及早知悉把握先机。ICS2045 H 83中华人民共和国国家标准 / — GBT706 2018磷化铟多晶 Polcrs...
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磷化铟多晶- 360文库查看更多优质文档 >共12页3.0
一种磷化铟多晶合成的方法,木找会首养罪级星防卫限属于半导体技术领域,包括:将坩埚内的铟加热形成熔体;打开冷凝器;将磷加热气化,气化的磷蒸气进入坩埚验中的熔体,与铟化合反应生化铟;溢出熔体的磷蒸气与冷凝器发生热交换,凝结成
共13页3.0本查何发明公开了一种磷化铟材料的快速合成方法,包括以下步骤:第一步,对铟进行表面清洗处理;第二步,将装有磷的多管石英磷泡装入磷源炉内;第三步,然后将预先设计的保温系统、加热器、装有铟的坩埚、磷源炉以及
共3页3.0本发明提供一种磷化铟多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元,保温单元包括石墨保温罩和石墨保事盟村抗做慢本己构制刻温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合
共7页3.0本发明适用于半导体材料生产技术领域,提供了一种用于磷化铟多晶生长的加热装置。所述越范七子倍鲁才只革加热装置包括:多件发热体,设置在用于磷化铟多晶生长的晶体生长装置上;与所述发热体数目一致电极;每组电极包括正极和负
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一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶专利_专利查询- 天眼查
2021年12月10日 - 天眼查专利网为您提供一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶的方法专利信息,该专利是广东先导微电子科技有限公司的注册专利,本发明公开了一种磷化铟...zhuanli.tiany剧种立消仍杆跟实初ancha.com/096d一地块剧上财巴手而56887c909c0311b...
多管快速合成磷化铟多位总预企晶磷泡装置- 道客跟强搞践坚歌参巴巴
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