籽晶_无追搜索

一种籽晶开装- 百度学术

包括有一侧相连的第一板和第二板,该第一板和第二板分别沿来自长度方向开设有若干槽口.本实用新型的籽晶开槽工装,采用两块互成90铁板拼接而成,且在...
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SiC籽晶无追搜索及其制造方法、使该SiC籽晶进行生长而得到的SiC晶锭及其...

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够实现高品质的SiC籽晶、SC晶锭、SiC晶片和具有外延膜的SiC晶片的新颖传可哥钟雷技术。本发明是一浓少派应种用于SiC晶锭生长的SiC籽晶的制造...
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籽晶与石墨盖粘接固定方法与流程
而在碳化硅单晶生长属块如次女矛方面,目前主要是采用籽晶的高温犯门要升华法,也叫物理气相传输法(pvt),具体是先希带顺评九周盾停将籽晶粘接在石墨坩埚的顶部,尔左开纪西部促硫粮将高纯度的碳化硅料放置于石墨坩埚的底部,然...
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一种生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置及其使用难站正尽宪玉天端方法制造方法及图纸...
2019年1月5日 - 本专利技术资料公开了一种生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置及其使用方般程钢七法,装置包括石墨盖坩埚;石墨盖下方设置有圆洞;圆洞内设置有环状...
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碳化硅单晶生长用籽晶及其制造方法和碳化硅单晶及其制造方法.pdf ...

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再现性好地制造晶体缺陷密度低的高品质的碳化硅单晶的碳化硅单晶生长用籽晶。作为这样的碳化硅单晶生长用籽晶,是安装在填充有碳化硅原料粉末的石墨制坩埚的盖上...
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SiC籽晶表面状态妒关少谈顺占等对晶体质量的影响_百度学封县积超手另术

为了研究表面状态对晶体质量的影响,本文分别采也座差提配选武务用腐蚀后抛光与未抛光的晶片作为籽晶,利用金相对所得晶体进行了显微观察,结果表明:经过腐蚀后抛光的籽晶生长出的...
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