金属硅化物_360百科
金属与硅生成的化合物。常分成两大类:(1)难熔金属硅化物，指周期表IVB、VB、VIB族元素的硅化物，如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等;(2)贵金属和近贵金属硅化物，如硅化钯、硅化铂、硅化钴等。其共同特点是:熔点高(大都在1500℃以上)，最低共熔温... 详情>>
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金属硅化物之cide - 知乎
2021年9月7日 - Silicide、salicide、polycide这三个词感觉很绕,为此跟大家一起来区分下。首先三者都是金属硅化物,金属硅化物技术是为了降低接触电阻,减小R...zhuanlan.zhihu.com/p/402655166
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安装无追扩展，智能升级未加密网站
添加扩展到浏览器添加后不再显示 科普:金属硅化物工艺技术详解_联电
2018年9月15日 - 最先出现的金属硅化物工艺技术是Polycide工艺技术,Polycide工艺技术是为了改善多晶硅栅的等效串联电阻和接触孔的接触电阻,Polycide工艺技...www.sohu.com/a/254002137_132567
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金属硅化物- 360文库查看更多优质文档 >共7页4.3
无机非金属材料的主角硅一、选择题12021183经典习题选萃由MgO、Al2O2、SiO2、Fe2O3组成的混合粉末。现取一份该混合粉末试样进展实验,首先将其溶于过量的盐酸,过滤后,得到沉淀X和滤液Y。以下表达正确的选项是A沉淀X的成分是S
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预处理方法、金属硅化物的形成方法以及半导体处理装置与流程
本发明涉及集成电路领域,尤其涉及一种半导体结构的预处理方法、一种金属硅化物的形成方法以及一种半导体处理装置。背景技术随着集成电路技术的发展,其中电子元件的集...
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金属硅化物学术资讯- 科技工作者之家
金属硅化物是指过渡金属与硅生成的硬质化合物。由于硅原子半径较大,不能与过渡金属生成间隙化合物,因而这类硬质化合物化学成分稳定金属硅化物具有好的抗氧化性。简介...
www.scimall.org.cn/article/detail?id=4807705
请简单介绍金属硅化物特性及主要用途谢谢_360问答
1个回答 - 回答时间：2013年4月7日
最佳答案：金属与硅生成的化合物。 常分成两大类：(1)难熔金属硅化物，指周期表IVB、VB、VIB族元素的硅化物，如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等；(2)贵金属和...
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金属硅化物的应用与发展- 道客巴巴
阅读文档 4页 - 574积分 - 上传时间:2013年9月21日金属硅化物的应用与发展 下载积分:2990 内容提示:维普资讯 文档格式:PDF | 页数:4 | 浏览次数:11 | 上传日期:2013-09-21 05:02:15 | 文档星级: 维普资讯 阅...
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90 nm CMOS 工艺平台金属硅化物工艺优化及其表征_电阻
2019年10月8日 - 90 nm CMOS 工艺的结深一般在 100 nm,金属硅化物的厚度一般在 40 nm左右,由于金属硅化物厚度接近结深,金属硅化物厚度和均一性的变化会影响结...www.sohu.com/a/345620723_99955608
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