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2015年2月18日 - [0003] 以往,铟靶是通过在背板上附政又苦龙宜完露李着铟合金等,然后向模具中浇注铟并进行铸造来制作的。这种铟靶的熔化铸造法中,存在向铸模供给的铟原与空...www.xjishu.com/zuanli/24/20141056052...
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本发明提供成膜速度大且初始放电电压小,而且自溅射开始至结束的成膜速度和放电电压稳定的铟靶及其制造方法.对于该铟靶,由靶的截面方向观察的晶粒的长宽比(长度方向的...
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