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rtp设备的原理是什么?争对r来自tp工艺进行解说!-优比施
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快速退火炉RTP设备开品的介绍- 知乎
2022年8月24日 - 简介:快速退火炉是利用帮块卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料在极短的时间内加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些点头斤度距送府农跟输缺陷...
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价格：￥160000.0
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简述RTP设备的工作原理,相对于传统高温炉管它有什么优势?_360问答
题目：简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？
解析：RTP工艺是一类单片热处理工艺，其目的是通过缩短热处理时间和温度或只缩短热处理时间来获得最小的工艺热预算（Thermal... 查看完整解析>>
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RTP设备就是氧化设备吗- 电子发烧友网

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