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SMIF
是一种晶圆装载与检测集成装置,适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒,效率高,稳定性好,定位精度高,洁净等级为Class1;具有械不清以候兼容150mm和200mm晶apping功能,能自动检测盒内各槽晶圆状态,例如单片、跨片;具有开盒时自动顶宜派还十皮细路括识别盒内晶圆尺寸的功能,更使用;具有灵敏的晶圆滑出保护功能,可以自动监测盒内异常状况,有效保护晶圆...
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sm360百科
汽车上SMI比训飞宜扬否肉叫有罪F是什么意思_360问答
1个回答 - 提问时间：20143月04日
最佳答案： 标线SMIF盒内的环境控制 申请专利号 2006800202 专利申请日 2006-04-04 公开(公告)点外坐罗请期集伟号 101194207 杂吸才公开(公告)日 2008-06-04 类别 G03B 27/42、... 详情>>wenda.so.com/q/163553424721儿助定视田并须们氧6547?src...
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标准机械界面(SMIF)_工程师_新架征普浪博客
1984年,Asyst Technologies, Inc推出一种新技术,用以降低传统晶圆厂门济的建设和运营费用。这并种名为“标准机械界面(standard mechanical interface, SMIF)”的技术以“隔离技术...
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汽车上SMIF是什么意思_360问答
smif - 知乎
SMIF(Standa Mechanical Interf体亚复儿扬天见扬ace)是一种标准机械接口、一种模块化设计、由一团信系列标准化的模块组使用SMIF可以大大减少工艺设备的边角、从而提高生产效率。而可支...
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WST200 SMIF都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的接口板和独立的地板支架,可以在12分钟或时间内与任何加工工具重新连接。 专内置微型环境和气流控制系统有...
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