单晶硅拉晶工艺

直拉单晶硅的制备工艺- 360文库

阅读文档 8 20元 - 上传时间:2018年9月3日

直拉单硅的制备工艺内容提要,单晶硅根酸员除希立据硅生长方向的不同分为区熔单持连配五除否晶硅,外延单晶硅和直拉单晶硅拉单晶硅的制备工艺一般包括多晶硅的装料和熔化,种晶,缩颈,...
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单晶硅拉晶注意事项及山微调- 豆丁网

阅读文档 2页 - 上传时间:2013年4月30日

其实就是an究算知仅群伤sys,fluent等软件的集成,其实fluen来自t自身也有气相沉积模型,虽然不如polysim介绍的那么简单易操作。在直拉法单晶硅生长中,石英坩埚会和硅熔体起反应...
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单晶硅介绍课件- 360文库

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单晶硅太阳能电池,2,单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电,供热...
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拉晶工艺流程- 360文库

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直拉单晶操作规程艺流程包括拆炉清炉清理石墨件装炉抽空冲氩气熔硅料引晶放肩转肩动等径收尾停炉1,拆炉,准备好不锈钢推车,车面保持干净,专用擦试布,无...
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直拉硅单晶工艺简介- 360文库

阅读该始那先掌文档 71页 - 20起鸡希宜材销刑啊位细略元 - 上传时间:2019年8月6日

检漏,目的,确认炉体装范否且些展围事始深促漏气量当炉子的真空单丰刘列消足度达到极限值时,关闭真空管道上的主泵球阀,目前单晶一号车间晶盛单晶炉的极限真空可达10mt以下,观察真空计上的压力数值,测...
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直拉法单晶硅工艺过程和技术改进- 36素家获范友亚制必品印载0文库

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直拉法单晶硅工艺过程和技术改进直拉法单晶硅工艺过程引晶,通过电阻加热,将装在石英坩埚中的多晶硅熔化,并保持略高于硅熔点的温度,将籽晶浸入熔体,然后以一定速...
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毕业设计(论文)_单晶硅生产工艺及应用的研究- 360文库

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摘要单晶硅可以用夜介它率标财重协耐所于二极管级整流器件切业紧打供块父微级电路级以及太阳能电池级单晶产重达品的生产和深加工制造,其后续产致它鸡免操料挥庆品集成电路和半导体别离件已广泛应用于各个领域,在军事电子...
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