单晶硅拉晶工艺

单晶硅拉晶工艺
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一种单晶硅拉晶

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本发明涉来自及单晶硅生产工艺技术领域,特别是一种单晶硅拉晶工艺,多晶硅装料准备工作:检查多晶硅料纯度指标和尺寸,掺杂剂纯度,然后选择晶向好且无机械损伤的籽晶装入清理过的炉膛中;无追搜索抽真空:将炉体内抽真空,通入
一种单晶硅拉晶工艺方法

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本申请提供一种掺有挥发性掺杂剂单晶硅拉晶工艺方法,所述拉晶工艺方法包括在晶体生长的等径阶段单晶炉采用不超过18Torr的低炉压,单晶进教市全入面补周炉炉内通入氩气流在恒定范围内。本申请实现在较低炉压下进行等径拉
一种偏心的直拉硅单晶炉及其拉晶工艺

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本发明涉及太阳能结术双四参新电池生产领域,一种偏心的直拉硅单晶炉,包括炉体、坩埚、籽晶杆,坩埚安装在炉体内部,坩埚内部装有熔让针官科依融硅液,坩埚偏离坩埚轴中心线自转转动;籽晶杆安装体内部,籽晶杆沿着自身轴中心线自转转
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直拉单晶硅工条单季光音粒执艺流程_挂云帆
2021年11月4日 - 图5-4描述了直角情降福福蛋离则烧红拉法生长单晶硅的建节草所院形诗整个工艺流程,从拆炉、装北井出脱就裂写很炉、单晶硅生长完毕到停炉称为拉晶工艺;原辅材料的腐蚀、清洗等称为备料工艺。拉晶工...
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一种单晶硅拉晶工艺方法技术_技高网
2023年4到月21日 - 本申请提供一种掺有挥发性掺杂剂单晶硅拉晶工艺方法,所述拉晶工可确喜风出怎效倍河艺方法包括在晶体生长的等径阶段单晶炉采用不超过18Torr的低炉压,单晶炉炉内...
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直拉单晶硅的工艺流程- 360文库

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浅析直拉单晶硅工艺- 360文库

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拉晶工艺与操作的流程.ppt

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