一种单晶硅拉晶工艺方法与流程
帝节兴概7.1.一种单晶硅拉晶工艺方法,所述拉晶工艺方法包括在晶体生长的等径阶段单晶炉炉压不超过18torr,单晶炉炉内通入氩请约火气流量保持在恒定范围内,所述来自单晶硅掺有掺杂剂。 8.2.根...
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直拉单晶硅工艺学_360问答
1个回答 - 提问时间：2014年11月01日
肉义儿消鱼外学案最佳答案： 单晶硅生长技无追搜索术 6.1 直拉单晶硅工艺流程 6.2 拆炉及装料 6.3 抽空及熔料 6.4 引晶及放肩 6.5 转肩及等径 6.6 收尾及停炉 6.7 ...... 详情>>wenda.so.co从板界义菜氢飞乱m/q/1414952692721029?src...
拉晶工艺标准- 360文库
阅读文档 11页 - 10元 - 上传时间:2018年10月3日内蒙山晟新能源,汉虹托管,内蒙山晟新能源,汉虹托管,拉奏双商引按晶工艺标准拉晶工艺标准受控上持力双世优状态实施日期适用实施称海记模诗裂早责任者注,本文件更改,由建议紧在者提出申请,经批准后方可变更,...
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一种单晶硅拉晶工艺的制作方法
2015年12月2日 - 1.一种单晶硅拉晶工艺,其特征在于,包括以下步骤,多晶硅装料准备工作:检查多晶硅料纯清菜满境吧积怀各度指标和尺寸,掺杂剂述找站给地阶六先纯度,然后选择晶无机械损伤的籽...www.xjishu.com/zhuanli/25/CN10件犯县511300...
拉晶埚位对直拉硅单晶氧含量的影固茶特节之步衡零却培响- 360文库
阅读文档 3页 - 10.00元 - 上传时间:2021年6月2日口新约者教攻评路算。可币丽拉晶埚位对直拉硅单晶氧含量的影响趔::勋删篔。甁蛳甴:,妇一唬口,郝玉清锋吴志强万关良张果虎、方大,口亦增大,也就是说大直径单晶直径容易,口M闯...
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一种单晶硅拉晶工艺方法专利_专利申请于2021-08-25_专利查询- 四内...
天眼查专利网为别体稳扬旧皇您提供一种单晶硅拉晶工艺方法专利信息,该专利是隆基绿能科技股份有限公司办内节学农节叫都控量伤的注册专利,本申请提供一种掺们继频帮双有挥发性掺杂剂单晶硅拉晶工艺方法,所述拉晶工....
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拉晶工艺中直拉硅单晶氧含量的优化研究(可 - 豆丁网
阅读文档 6页 - 上传时间:2014年7月17日拉品工艺中直拉硅单品氧含量的优化研究上海九晶电子材料股份有较肉限公司技术研发部要:采直拉法拉制硅单晶,在拉晶过程中,研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转...
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一种单晶硅计亲实存浓拉晶工艺的制作方法_X技术
现在最广泛的单晶硅制造工艺是采用直矛止服拉法制造单晶硅,与其他制造工艺相比,在制造成本与单晶硅的性能方面有一定的优势,但现有通过直拉航法制造单晶硅的工艺存在着不足...
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拉晶工艺及操作规程下载_T模板_37 - 爱问文库
拉晶工艺及操作规程,拉晶工艺及操作规程陕西西着异家京电子科技有限公司一、拉晶工艺流程图配料煅烧拆、清炉装料抽真空充氩方东便体或等高控益凯气化料引晶缩颈放肩转肩等径收尾停炉库房检验...
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直拉单艺技术(31页)-原创力文档
2020年9月4日 - 直拉单晶硅工艺技术.富啊仍尼手pdf,直拉单晶硅工艺技呀专异越掌夜义局全若术石油化工学院 1第二章直拉单晶炉直拉单... 埚映听政征岁高胡增劳卫内可装入多晶硅料以供拉晶用直拉单晶炉的需求为了提...正max.book118.com/h创由包身tml/2020/090...
单晶硅拉晶工艺
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