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稀土靶材对溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相...
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铌靶材 产品名称:铌靶材 牌号:Nb1.Nb2. 执行标准:GB/T3630-2006 纯度:≥99.95% 圆靶材规格:直径(25-400)x厚度(3-28)mm 方靶材规格:厚度(1-20)x宽度(10-1000)x长度(200-20...
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阅读文档 4页 - 999积分 - 上传时间:2012年5月31日第37卷增刊42008年10月稀有金属材料与工程RAREMETAL~L^TERIALSANDENGn0EERINGV01.37,Suppl.4October2008溅射用优质铌靶材的制备王国栋,王艳,李高林,赵鸿磊...
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