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  • 分子束外延法_360百科

    分子束外延是种物理沉积单晶薄膜方法。在超高真空腔内,源材料通过高温蒸发、辉光放电离子化、气体裂解,电子束加热蒸发等方法,产生分子束流。入射分子束与衬底交换能量后,经表面吸附、迁移、成核、生长成膜。生长系统配有多种监控设备,可对生长... 详情>>
    名称 - 定义 - 技术特点 - 技术 - 全部

    baike.so.com/doc/1710924-180...

  • 分子束外延生长
     - 360文库

    5.0
    共85页

    摘要si基高k介质材料的分子束外延生长物理堂系猛鬈查物理专业学生姓名盆且指导老师整量煎熬援摘要在过去二十多年里,si基元器件的大小遵循Moore定律按比例的持续减小,对于下一代金属氧化物半导体场效应管,MOSFET,器件,原来的栅极介电材料

    5.0
    共8页

    分子束外延生长实验报告一、实验目的本实验旨在通过分子束外延生长技术,制备出高质量的半导体薄膜。实验过程中需要掌握分子束外延的基本原理,以及各个步骤的关键参数及操作要点,最终得到生长后的半导体薄膜,并对其进行表征和分析。二

    3.0
    共5页

    本发明揭示了一种分子束外延生长GaN基发光晶体膜的方法,在生长过程中掺杂稀土离子,取代部分Ga3+的晶格格位,其特征在于:在所述GaN晶体膜的原料配方中按比例掺入III族元素硼或铝,在生长过程中所述I

    3.0
    共6页

    本发明公开了一种分子束外延生长异质界面的方法与装置,该装置包含电子束调控系统和电磁调控系统,根据所要制备的异质界面薄膜的结构变化、材料的组分变化或掺杂浓度梯度变化,合理设置电子束调控系统和电磁调控系统

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  • 干货:分子束外延要点解析- 知乎

    2020年6月3日 - CVD缺陷 :衬底高温 ,1050℃,向掺杂严重(跟高温有关) 。原始的分子束外延 :硅衬底加热至适当温度,真空下使硅蒸发到硅衬底上 ,进行外延生长。 生长...

    zhuanlan.zhihu.com/p/145550934

  • 如何评价MBE(分子束外延)生长材料的性能? - 知乎

    分子束外延是一个物理沉积过程,中间不需要考虑化学反应的问题。一般在1e-8 Pa的超高真空下进行,在外延生长的过程中能够防止污染,而且在生长之前一般会通过退火的方法...

    www.zhihu.com/question/36879390

  • 分子束外延生长- 道客巴巴

    阅读文档 5页 - 400积分 - 上传时间:2015年3月16日

    ZnSe自组织量子点光、电行为研究王占国中国科学院半导体研究所半导体材料科学开放实验室北京 1000833卢励吾C.L.Yang J.Wang Z.H.Ma I.K.Sou WeikunG...

    www.doc88.com/p-1758512924054.html

  • 分子束外延技术简介.ppt 免费在线阅读

    阅读文档 86页 - 上传时间:2018年11月28日

    Riber 3吋无铟钼托 *什么是分子束外延真空技术介绍分子束外延设备 ?分子束外延工艺什么是分子束外延外延生长技术在半导体领域得到应用是在20世纪60年代。它指的...

    max.book118.com/html/2018/112...

  • 分子束外延生长设备中标结果-采招网

    2019年5月24日 - 受业主委托,中国采招网于 2019/5/24发布分子束外延生长设备中标结果;项目简介:公告概要:公告信息:采购项目名称分子束外延生长设备品目货物/通...

    www.bidcenter.com.cn/newscontent-7...

  • MBE分子束外延生长

    分子束价格,市场行情,优质商品批发,供应厂家等信息.分子束分子束品牌鹏程真空|产地沈阳|价格95.00万|型号PCMBE500|供货总量10000|应用技术MBE分子束外延生长|膜层光滑...

    b2b.baidu.com/land?id=44763e3016282a3d36039...

  • InGaAs探测材料固态源分子束外延生长研究- 豆丁网

    阅读文档 - 上传时间:2020年3月10日

    InGaAs探测材料固态源分子束外延生长研究 本文档由 xuan_lin1987分享于2020-03-10 16:40 暂无简介 文档格式: .pdf 文档大小: 4.57M 文档页数: 131页 顶 /踩数: ...

    www.docin.com/p-2324741917.html

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